Plateau à vide circulaire

en céramiquepour l'usinagepour pièces à usiner

Description du produit
Disques en céramique poreuse de carbure de silicium (SiC) conçus pour l'adsorption sous vide de précision et les applications de flottation par air en production de semi‑conducteurs et en fabrication avancée. Le SiC apporte dureté, conductivité thermique et résistance chimique, assurant une force d'aspiration stable et une distribution d'air homogène pour la manutention sans contact de plaquettes, panneaux et substrats fins.

Spécifications du produit
Formule : SiC
Forme : Disque
Matériau : Céramique poreuse en carbure de silicium
Numéro CAS : 409-21-2
Produit : Disques céramiques poreux

Applications typiques

• Systèmes de plateau de maintien sous vide pour semi‑conducteurs (meulage de wafers, découpe, impression)
• Nettoyage de plateau sous vide
• Plateaux de transfert et de manutention sous vide
• Palettes à coussin d'air et plates‑formes de flottation d'air de précision
• Fabrication de panneaux LCD et OLED
• Procédés microélectroniques des semi‑conducteurs
• Manutention de verre et panneaux pour téléphones mobiles
• Traitements de films minces
• Plateformes de traitement laser
• Systèmes d'impression et de revêtement
• Industrie photovoltaïque et fabrication de cellules solaires

Principaux atouts

• Structure poreuse uniforme et stable pour des performances constantes
• Performance d'adsorption sous vide fiable, adaptée à la manutention de wafers
• Distribution d'air homogène pour applications de flottation par air
• Permet la manutention sans contact et à faible dommage des substrats fragiles
• Précision dimensionnelle élevée et tolérances serrées
• Adapté aux environnements propres et salles blanches

Spécifications & variantes

• Exemple standard : D80×2 mm (autres diamètres/épaisseurs disponibles)
• Différentes structures de pores (tailles typiques : 15 µm ; également disponible : 30 µm)
• Distribution de pores homogène sur toutes les variantes

Spécifications / Tolérances (Disque)
Épaisseur : 2 mm ±0,1 mm
Diamètre extérieur : 80 mm ±0,1 mm

Propriétés physiques
Densité (g/cm³) : 2,0 - 2,2

Propriétés mécaniques
Dureté (HRA) : ≥ 40,00

Caractéristiques techniques

• Diamètres et épaisseurs disponibles sur demande (ex. D80×2 mm)
• Emballage habituel : 1 pièce par unité (emballage personnalisé possible)
• Couleur : gris (teintes variables)