Machine de dépôt par pulvérisation cathodique à magnétron PVD

Présentation
Mise à niveau pour machines PVD. Nous proposons des mises à jour matérielles et logicielles de votre machine PVD. Mise à niveau complète : chauffage du porte-substrat, cathodes magnétron, régulation des gaz réactifs, thermorégulation de l'enceinte sous vide et logiciel.

Gammes / modèles concernés
HF et MW6

Mises à jour et interventions proposées

• Chauffage du porte-substrat de 200 à 800 °C
• Ajout de volets, mouvement du porte-substrat, mesure de pression et de température
• Thermorégulation de l'enceinte à vide
• Rénovation de cathodes magnétron ou de sources d'arc
• Régulation des gaz réactifs par spectrométrie optique

Caractéristiques / spécifications techniques

• Chauffage en graphite pour machines PVD par pulvérisation magnétron
• Cathodes magnétron avec volets pour PVD par pulvérisation
• Couvercle rotatif porte-substrat
• Plage de température du porte-substrat : 200 à 800 °C
• Mesures intégrées : pression et température
• Thermorégulation de l'enceinte sous vide
• Rénovation possible : cathodes magnétron ou sources d'arc
• Régulation des gaz réactifs via spectrométrie optique