Machine d'évaporation sous vide pour l'électronique Sybilla

Présentation
Gamme de machines pour le dépôt de couches ultra-fines de parylène. La série Sybilla est développée pour le dépôt de parylène par procédé CVD, avec des solutions sur mesure adaptées à divers besoins et applications industrielles.

Technologies et systèmes

• Technologies de dépôt de parylène développées en partenariat avec Coat-X.
• Systèmes de dépôt à basse température pour le revêtement d'appareils électroniques, médicaux ou semi‑conducteurs : CX-30/300/600.
• Système novateur de dépôt multicouches hybride Parylène - ALD : CXC-20.
• Module ALD et module PVD optionnels, reliés par un système de transfert automatisé.

Fonctions et usages

• Revêtements protecteurs ultrafins pour composants électroniques, dispositifs médicaux et substrats semi‑conducteurs.
• Possibilités de dépôts multicouches et de co‑dépôts (hybride Parylène + ALD).
• Fonctionnement à basse température adapté aux substrats sensibles.

Documentation
Documentation technique et brochure produit disponibles au téléchargement depuis la fiche produit (fichier PDF).

Caractéristiques / spécifications techniques

• Série : Sybilla.
• Modèles / systèmes cités : CX-30 / CX-300 / CX-600 (indiqués comme CX-30/300/600) ; CXC-20 (système hybride Parylène - ALD).
• Technologie : dépôt de parylène par procédé CVD ; solution hybride Parylène + ALD.
• Modules optionnels : module ALD, module PVD, transfert automatisé entre modules.
• Température de fonctionnement : basse température (adaptée aux substrats sensibles).
• Applications ciblées : électronique, médical, semi‑conducteurs.