Source d'ions FDG15

Spécifications Gamme d'énergie 400 eV à 5 keV (10 eV en option) Courant de faisceau max > 10 μA @ 5 keV > 100 nA @ 15 eV (option 10 eV) Diamètre du faisceau entre 300 μm et 2′′ @ 5 keV Aligneur de ports intégré Oui Cathode Revêtement d'oxyde d'yttrium Tungstène (en option) Filament d'iridium Distance de travail 30 mm - 300 mm Profondeur d'insertion 173 mm Pression de la chambre pendant le fonctionnement 5x10-7 mbar - 1x10-8mbar Bride de montage CF 35 / 2¾′′ OD Interface électronique TCP/IP Contrôle logiciel Logiciel "ProIon" basé sur LabVIEW™ Le FDG 15 utilise la même génération de faisceau éprouvée que le FDG 150 et peut être utilisé comme substitut pour toutes les applications où, par exemple, l'ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON) a été utilisé dans le passé. De plus, le FDG 15 est équipé d'une optique ionique plus flexible pour s'adapter à des distances de travail plus longues et d'une stabilisation du flux d'ions en option.