Système d'automatisation de procédé WTA9000L/ul

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Caractéristiques

Spécifications
de procédé

Description

Procédé : ● S'adapte aux plaquettes de silicium M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) et 230 mm ● Compatible avec différentes marques d'équipements de texuration des plaquettes et de retrait du PSG Caractéristiques : ● Entrée : Cassette ou pile ● Sortie : sortes de cassettes ● En option, pesage de haute précision, fissuration, taille, détection des fragments ● En option, correspondance de 5,6,8, 10 voies ● En option, support de l'interface MES et fonction de débogage à distance Statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie ● Interface intelligente IGV en option

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