Procédé :
● S'adapte aux plaquettes de silicium M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) et 230 mm
● Compatible avec différentes marques d'équipements de texuration des plaquettes et de retrait du PSG
Caractéristiques :
● Entrée : Cassette ou pile
● Sortie : sortes de cassettes
● En option, pesage de haute précision, fissuration, taille, détection des fragments
● En option, correspondance de 5,6,8, 10 voies
● En option, support de l'interface MES et fonction de débogage à distance Statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie
● Interface intelligente IGV en option
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