Système d'automatisation de production PECVD

de procédé

Procédé : ● S'applique aux plaquettes de taille 156/230 ● Compatible avec les différentes tailles d'équipements PECVD à tubes et d'équipements PECVD à plaques Caractéristiques : ● Chargement et déchargement ： Cassette ou pile ● Chargement et déchargement : Cassette ou empilement ● Sortie : bateau en graphite ● Surveillance de la température du bateau ● En option, détection en ligne de la différence de couleur/de l'épaisseur du film, détection du PL, détection des débris, ● détection de film gauchi, retournement ● Support optionnel de l'interface MES et de la fonction de débogage à distance ● Machine intelligente, statistiques OEE et fonction d'analyse de la consommation d'énergie ● Détection de la température du bateau standard, bateau de tir vertical, ventouse en céramique, ● aspiration à canal unique ● Interface intelligente de l'IGV en option