Système d'automatisation de procédé RTA-SRT-8000

Procédé : ● S'applique aux plaquettes de taille 125/156 ● Compatible avec les différentes tailles d'équipements PECVD à tubes et d'équipements PECVD à plaques Caractéristiques : ● Conception en ligne à double canal partagée par tous les AB ● Intégration en ligne des tests AOI et IV ● Fonction de détection et de lancement automatique des cellules entrantes Fonction de prise et de mise en place rapide des moteurs linéaires ● Plate-forme autonome à quatre stations ● Grande vitesse et productivité élevée ● Haute efficacité et faible taux de casse ● Classification automatique des cellules ● Fonction de suivi de l'identification des wafers ● commutation automatique des piles ● Interface MES et diagnostic à distance ● Statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie Chargement : en ligne, hors ligne ● Déchargement : Boîte empilée ● Conception de voie simple/double en option, disposition entière/séparée Options： ● Détection AOI avant ou arrière ● Détection IV avant ou arrière, marque optionnelle HALM ou WAVELAB Fonction d'affichage et d'impression du numéro de classification des cellules ● Fonction d'identification des étiquettes RFID ● Fonction d'arrimage intelligent IGV Avantages : ● Haute précision (précision de positionnement de la caméra intelligente SMega Pixel et répétabilité inférieure à 1 Oum@3 cr Moteur linéaire haute résolution ) ● Haute efficacité et faible taux de casse(Temps de fonctionnement≥98,5 % Casse≤0,1 % ) ● Haut débit （Throughput:8000pcs/heure Temps de cycle≤0,9sec ） ● Haut rendement （Output : 140 000 pcs/jour 8000pcs/heurex98%x22=176000pcs/jour） ● Bras robotique navette intelligent （Conception de bras navette multi-axes, contrôle indépendant Conception d'encodeur absolu Commutateur d'empilage rapide ）