PrésentationLe système capacitif TFG6220 mesure l’épaisseur de films électriquement conducteurs (par ex. films de batteries) avec une grande précision. Un dispositif de vide maintient et lisse l’échantillon pour assurer une surface de référence sans plis. L’unité est prémontée pour une mise en service rapide et conçue pour le contrôle qualité hors ligne par prélèvements aléatoires.
Fonctionnalités principales- Lissage par vide du film pour supprimer les plis et assurer un positionnement reproductible
- Étrier de mesure avec deux capteurs capacitifs et un insert de mesure intégré pour un référencement simple
- Acquisition et visualisation des données via sensorTOOL (interface web)
ApplicationsContrôle hors ligne et rapide de l’épaisseur de films conducteurs pour la maîtrise qualité et le suivi de processus, par ex. films de batteries.
Caractéristiques / spécifications techniques- Résolution : 10 nm
- Répétabilité : 1 µm
- Épaisseur de film mesurable : < 1 mm
- Principe de mesure : compensation entre deux capteurs capacitifs
- Préparation de l’échantillon : dispositif de vide externe pour lissage et maintien
- Configuration : système prémonté, prêt à l’emploi
- Logiciel : sensorTOOL pour visualisation et réglages