Système de mesure de lumière UV Wafer

par ultravioletspour wafer

Le système de mesure in situ de la lumière ultraviolette (UV) 300 mm UV Wafer™ utilise la technologie de galette de capteurs sans fil pour mesurer le dosage et l'intensité de la lumière UV à la surface de la galette au sein des outils de processus de dépôt de film. Permettant une optimisation et une surveillance des processus jusqu'alors inaccessibles, l'UV Wafer fournit des informations temporelles et spatiales sur l'intensité de la lumière atteignant la surface de la plaquette à partir de la lampe UV utilisée pour recuire ou durcir les oxydes FCVD (fluides) et les films diélectriques à faible k. L'UV Wafer peut également identifier la dérive induite par le vieillissement de la lampe ou d'autres changements dans l'intensité de la lampe qui se traduisent par des propriétés de film non uniformes. En mettant en évidence les problèmes liés au système optique dans le sous-système de la lampe UV, l'UV Wafer aide les ingénieurs à améliorer les outils de traitement, ce qui permet d'obtenir des processus de durcissement optimaux. Applications Développement de procédés, qualification de procédés, qualification d'outils de production, surveillance d'outils de production, adaptation d'outils de production Dépôt de film, séchage UV, recuit UV | UV La hauteur de la plaquette avec le module de détection est de 4 mm ou de 6 mm