Système de mesure de température SensArray®

automatiqued'outil

L'ensemble de gestion de processus in situ SensArray® Automation permet une collecte automatisée et rapide des mesures de température de la chambre de l'outil de traitement, tout en offrant une fonctionnalité semi-automatique pour soutenir les démarrages de fabriques. L'ensemble SensArray Automation comprend la station de base d'automatisation AS1000, qui est compatible avec tous les produits SensArray sans fil de 300 mm, le FOUP compatible avec la voie aérienne (OHT), un contrôleur d'automatisation du système et les composants du siège logiciel du PC de bureau. Les FOUP SensArray peuvent prendre en charge deux produits SensArray distincts pour un déploiement flexible de l'usine et peuvent être traités de la même manière que n'importe quel FOUP de production, avec un portage direct des données sur les graphiques SPC. L'automatisation de SensArray permet d'améliorer la productivité en augmentant la disponibilité des outils de traitement, en utilisant plus efficacement les ressources d'ingénierie et en centralisant le stockage des données dans la base de données MES de l'usine. Applications Développement de processus, qualification de processus, surveillance d'outils de processus, qualification d'outils de processus, adaptation de chambres, adaptation d'outils de processus