Il s'agit d'un spectromètre d'électrons Auger de haute spécification avec un analyseur hémisphérique pour fournir une analyse à haut débit de l'état de liaison chimique dans les zones nano et micro, et un canon à électrons à émission de champ également utilisé pour l'EPMA, parce qu'il peut délivrer un courant électrique important et stable La platine d'échantillonnage eucentrique de haute précision permet de réaliser l'analyse des isolants, auparavant impossible. Combiné au canon à ions de type flottant, il offre la polyvalence nécessaire pour manipuler n'importe quel échantillon, tel que les métaux et les matériaux d'isolation, afin d'obtenir des informations sur la composition et des informations chimiques.
Caractéristiques
Analyseur haute sensibilité・haute résolution
L'utilisation d'analyseurs à résolution énergétique variable a permis d'effectuer une analyse de l'état de liaison chimique en mode haute résolution, ainsi qu'une cartographie à grande vitesse en mode haute sensibilité.
Pistolet à électrons à émission de champ Schottky
Un canon à électrons qui permet à la fois l'observation d'images avec une résolution spatiale de 3 nm et l'analyse à haut débit de l'état de la liaison chimique grâce à un courant électrique important pouvant aller jusqu'à 200nA. Ceci est possible en incorporant la technologie d'optique électronique que JEOL a développée pendant de nombreuses années avec les canons à électrons à émission de champ Schottky utilisés dans les MEB et les EMPA.
Platine d'échantillonnage eucentrique
L'adoption d'une platine eucentrique, une nécessité pour un appareil d'analyse doté de plusieurs systèmes optiques, permet une reproductibilité très précise du centre de la hauteur. L'inclinaison librement sélectionnable jusqu'à 90° rend possible l'analyse difficile des isolateurs.
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