Le spectromètre d'émission de rayons X mous (SXES) est un spectromètre à ultra-haute résolution composé d'un réseau de diffraction récemment développé et d'une caméra CCD à rayons X à haute sensibilité.
De la même manière que l'EDS, la détection parallèle est possible, et une analyse à ultra-haute résolution énergétique de 0,3 eV (bord de Fermi, standard Al-L) peut être effectuée, surpassant la résolution énergétique du WDS.
Aperçu du système
La nouvelle conception du système optique du spectromètre permet de mesurer simultanément des spectres de différentes énergies, sans déplacer le réseau de diffraction ou le détecteur (CCD). Grâce à la haute résolution énergétique, il est possible de réaliser une cartographie de l'analyse de l'état chimique.
Comparaison de SXES, WDS et EDS
Des spectres pour le nitrure de titane avec différentes méthodes de spectrométrie
Pour le nitrure de titane, les pics de N-Kα et Ti-Ll se chevauchent. Même avec le WDS, et la déconvolution de la forme d'onde en utilisant une méthode mathématique est nécessaire. Comme illustré dans la figure ci-dessous, il y a une haute résolution énergétique avec SXES, permettant d'observer TiLl.
Exemple d'analyse d'une batterie Li-ion (LIB)
L'exemple ci-dessous montre des cartes de grande surface d'échantillons LIB avec différents états de charge. La SXES peut cartographier le pic Li-K à la fois à l'état de bande de valence (à gauche) et à l'état fondamental (au milieu). Une carte de distribution du carbone (à droite) permet également de voir la fonction sur la LIB qui est complètement déchargée.
Exemple de mesure d'éléments légers
Mesures des composés du carbone à l'aide de SXES
Il est possible de mesurer les différences entre le diamant, le graphite et les polymères. Les différences peuvent être observées grâce aux pics supplémentaires des liaisons π et σ.
---