La station d'analyse JED-2300T est un système d'intégration TEM/EDS basé sur le concept "image et analyse". La gestion des données est assurée par la collecte automatique des paramètres tels que le grossissement et la tension d'accélération, ainsi que des données d'analyse.
Trois types de détecteurs de dérive au silicium (SDD) EDS sont disponibles, avec une zone de détection de 30 mm2, 60 mm2 et 100 mm2 respectivement. Plus la zone de détection est grande, plus la sensibilité de détection augmente. En incorporant le détecteur Dry SD100GV (zone de détection de 100 mm2) au JEM-ARM200F (HRP), on obtient simultanément une grande zone de réception de la lumière et une haute résolution, ce qui permet de distinguer clairement les éléments lumineux tels que "B,C,N,O".
- Cartographie élémentaire à grande vitesse
Le détecteur sec SD100GV, doté d'une grande sensibilité, détecte une particule de catalyseur Au en seulement une minute de temps de mesure.
- Cartographie à résolution atomique
Les colonnes atomiques de Sr et de Ti sont clairement séparées.
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Les données de cartographie élémentaire acquises par le système EDS de JEOL conservent le spectre à chaque pixel pour chaque image, ainsi que les images du faisceau d'électrons. La fonction "play back" permet des analyses multilatérales, y compris l'observation du changement de spectre sur une période de temps. Un phénomène se produisant dans l'échantillon, qu'il était impossible de repérer, peut maintenant être observé en rejouant les données d'analyse. Il est également possible de découper les images sélectionnées. (Un brevet a été déposé)
Demande JED-2300T
- Analyse structurelle de dispositifs semi-conducteurs par tomographie STEM/EDS
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