Sonde ionique focalisée NX9000

Le nouveau système FIB-SEM d'Hitachi, le NX9000, intègre une disposition optimisée pour une véritable coupe en série à haute résolution afin de répondre aux dernières demandes en matière d'analyse structurelle 3D et d'analyses TEM et 3DAP. Le système FIB-SEM NX9000 permet d'obtenir la plus haute précision dans le traitement des matériaux pour un large éventail de domaines liés aux matériaux avancés, aux dispositifs électroniques, aux tissus biologiques et à une multitude d'autres applications. - La colonne SEM et la colonne FIB sont disposées de manière orthogonale afin d'optimiser le positionnement de la colonne pour l'analyse structurelle 3D. - La combinaison d'une source d'électrons à émission en champ froid à haute luminosité et d'une optique à haute sensibilité permet l'analyse d'une large gamme de matériaux, des tissus biologiques aux matériaux magnétiques. - Le système de micro-échantillonnage et le système Triple Beam permettent une préparation d'échantillons de haute qualité pour les applications TEM et atomo-sondes. Fraisage ionique et observation à incidence normale en temps réel pour une véritable imagerie analytique La colonne du MEB et la colonne de la FIB sont disposées de manière orthogonale pour réaliser une imagerie SEM à incidence normale des sections transversales de la FIB. La disposition orthogonale de la colonne élimine la déformation de l'aspect, le raccourcissement des images en coupe transversale et le décalage du champ de vision (FOV) pendant l'imagerie des coupes en série, qui ne peuvent être évités par les systèmes FIB-SEM conventionnels. Les images du NX9000 permettent une analyse structurelle 3D très précise. La microscopie optique corrélative peut être appliquée facilement grâce à l'avantage de l'imagerie EM surface-planaire. Cut&See Cut & See permet l'imagerie haute résolution et à fort contraste de tissus biologiques, de semi-conducteurs et de matériaux magnétiques, tels que l'acier et le nickel, à de faibles tensions d'accélération.