Système de préparation d'échantillons automatique

pour SEM

Ce dispositif est utilisé pour préparer la partie de la plaquette souhaitée pour une analyse avec STEM, TEM, etc. en extrayant un micro-échantillon avec un faisceau d'ions dans la chambre à vide d'un système FIB. Unité de micro-échantillonnage FIB et méthode de micro-échantillonnage FIB Exemple de prélèvement de micro-piliers par FIB Un échantillon de micro-pillier comprenant un point d'analyse est directement découpé dans un dispositif semi-conducteur. Les micro-échantillons sont découpés ou taillés en différentes formes en faisant varier la direction d'incidence de la FIB. Un nouveau système d'évaluation des dispositifs semi-conducteurs est composé d'un système FIB FB2200 et d'un STEM HD-2700 de 200 kV. Le système va de la recherche de points défectueux à l'analyse de la structure à l'échelle sub-nano-métrique en quelques heures.