Microscope FIB/SEM NX5000

pour analyseau solà émission de champ froid

Le FIB-SEM Hitachi Ethos intègre la dernière génération de FE-SEM avec une luminosité et une stabilité de faisceau exceptionnelles. Ethos offre une imagerie haute résolution à basse tension combinée à une optique ionique pour un traitement de précision à l'échelle nanométrique. Caractéristiques principales 1. Colonne FE-SEM haute performance avec mode double objectif - Observation à ultra-haute résolution (mode HR : semi-in-lentille) - Détection de point final de haute précision en temps réel (mode FF : Field Free (mode de partage du temps)) 2. Traitement des matériaux à haut débit - Traitement ultra-rapide avec une densité de courant ionique élevée (courant de faisceau max. : 100 nA) - Script programmable par l'utilisateur pour le traitement automatique et l'observation 3. Système de micro-échantillonnage - Contrôle d'orientation de l'échantillon entièrement intégré pour l'effet anti-courant (technologie ACE) - Préparation d'échantillons TEM pour des lamelles uniformes à n'importe quelle orientation 4. Capable de produire trois faisceaux, offrant des résultats de qualité avancée - Traitement des matériaux par faisceau d'ions de gaz rares à faible accélération - Fonctions innovantes réduisant les artefacts liés aux ions Ga et autres artefacts de fraisage 5. Grande chambre multiport et platine pour diverses applications - Système capable de traiter des échantillons de grande taille avec une stabilité exceptionnelle de la platine - Suivi longue distance amélioré (155 x 155 mm) Optique électronique raffinée et détection multi-signaux La colonne du MEB Ethos est composée d'un système d'objectif composé à champ magnétique et électrostatique configuré en deux modes d'objectif. Le mode haute résolution (HR) permet d'observer l'échantillon à une résolution optimale en l'immergeant dans le champ magnétique du système d'objectif. Le mode sans champ (FF) offre un traitement FIB en temps réel pour un fraisage de haute précision du point final.