Débitmètres thermiques HORIBA

Débit volumique: 0 l/min - 0,1 l/min
Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 1,1 bar - 3,5 bar

... Les processus critiques de fabrication des semi-conducteurs exigent en permanence des dispositifs de contrôle de flux de gaz de précision qui permettent à la fois l'innovation future et la transition du laboratoire à l'usine pour les mémoires et les dispositifs ...

Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 0,13 bar - 4 bar
Répétabilité: 0,01 % - 0,3 %

... Le D700WR installe un nouveau restricteur conçu spécifiquement pour une application de contrôle à large gamme avec des performances de haute précision basées sur la technologie CRITERION™. Le D700WR peut contrôler le débit jusqu'à 0,1 % de la plage de ...

Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 3,5 bar - 7,5 bar
Répétabilité: 0,03 % - 0,3 %

... Ce module de débit massique insensible à la pression est équipé d'une détection de pression différentielle et d'une vanne piézoélectrique. Le haut niveau de performance du CRITERION D500 lui permet d'être utilisé pour toute une gamme de procédés de fabrication ...

Température de process: 15 °C - 45 °C
Pression de process: 2,4 bar - 4,12 bar

... Le D700uF (Micro Flow) est conçu pour les applications à débit ≤ 5SCCM. le contrôle du débit ≤ 5SCCM a été très critique dans les procédés à haut rapport d'aspect Des composants spécialisés et une nouvelle norme interne de faible débit permettent un ...

Débit volumique: 0,1, 0,3 l/min
Pression de process: 0,5 bar - 4 bar
Répétabilité: 0,15, 0,01 %

... La série SEC-Z700S est équipée de nouveaux capteurs th ermiques et d'une fonction d'insensibilité à la pression pour un contrôle stable du débit. La mesure de pression embarquée réduit le coût, la taille et la complexité ...

... largeur unique de 10 mm du DZ-100 lancé en 2020. Cela comprend l'augmentation du débit à pleine échelle et de la plage de température de fonctionnement, ainsi que la prise en charge d'EtherCAT®*5. *1 Débit maximum que l'appareil est ...

Débit volumique: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Température de process: 5 °C - 50 °C
Pression de process: 0,5 bar - 3 bar

... de liquide utilisant un élément Peltier qui refroidit le liquide au lieu d'utiliser la méthode plus courante du chauffage thermique. Cette technique élimine le risque d'ébullition des produits chimiques dont le point d'ébullition est ...