Débitmètre massique thermique D700MG

pour gazde précisionnumérique

Module de débit massique insensible à la pression de haute vitesse et de précision Les processus critiques de fabrication de semi-conducteurs nécessitent en permanence des dispositifs de contrôle de flux de gaz de précision qui permettent à la fois l'innovation future et la transition du laboratoire à l'usine pour les mémoires et les dispositifs logiques de pointe. HORIBA propose le nouveau MFC D700MG basé sur la pression, le modèle supérieur compatible du D500MG pour répondre aux défis des clients. Caractéristiques Changement de configuration du gaz et de la pleine échelle sur l'outil *Uniquement EtherCAT Fournit la flexibilité nécessaire à l'optimisation du processus réponse à la montée en puissance de 100 ms et contrôle de la déviation de MFC à MFC Productivité élevée et performances accrues des procédés Fonctionnalité MRMG pour les petits débits (Bin101 - Bin105) Apporte de la flexibilité aux procédés nécessitant un petit débit Meilleure fermeture de la vanne et meilleure résistance à la corrosion grâce à la buse en PFA Robustesse avec moins de risque de particules réduisant les temps d'arrêt et optimisant le rendement Fonction de surveillance de l'état Fournit davantage de données internes pour une prédiction plus intelligente des défaillances