Module de débit massique insensible à la pression
Ce module de débit massique insensible à la pression, à la pointe de la technologie, est équipé d'une détection de pression différentielle et d'une vanne à actionneur piézoélectrique.
Le haut niveau de performance fourni par le CRITERION D500 permet de l'utiliser pour une gamme de processus avancés de fabrication de semi-conducteurs ; insensible à la pression, multi-gammes/multi-gaz/multi-pressions, fonction d'auto-diagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), haute précision, réponse rapide, large gamme et tout métal
Performance d'insensibilité à la pression
Une nouvelle fonction d'insensibilité à la pression très performante permet de simplifier le système d'alimentation en gaz
Solution multi-gammes, multi-gaz, multi-pressions
Les nouvelles fonctions permettent à l'utilisateur de changer de type de gaz, de débit à pleine échelle et de plage de pression d'alimentation
Fonction d'autodiagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
La fonction avancée de surveillance de l'état du processus permet aux opérateurs de réaliser leurs propres tests, généralement en trois secondes ou moins, pour une meilleure productivité
Haute précision
La précision du débit des gaz de process a été améliorée grâce à un réglage tridimensionnel avancé
Réponse rapide
Réponse : < 0,8 seconde
Il est possible d'obtenir un contrôle précis et stable du débit
Plage dynamique
Large gamme de contrôle : 0.2% de l'E.M. à 100% de l'E.M.
"Récemment, avec l'augmentation de l'application d'un dispositif à semi-conducteurs selon l'IoT, les dernières usines de semi-conducteurs se concentrent pour minimiser le temps d'arrêt de l'appareil. Par conséquent, pour la pré-détection des défaillances des outils de semi-conducteurs et de leurs composants, les paramètres gérés du processus de semi-conducteurs sont augmentés, et leurs spécifications deviennent plus strictes.
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