Débitmètre massique thermique D500 series
à pression différentiellepour gazen ligne

débitmètre massique thermique
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Caractéristiques

Technologie
massique thermique, à pression différentielle
Fluide
pour gaz
Montage
en ligne
Communication
RS485
Tension d'alimentation
15 Vcc
Température de process

Max: 80 °C
(176 °F)

Min: 0 °C
(32 °F)

Pression de process

Max: 7,5 bar
(108,78 psi)

Min: 3,5 bar
(50,76 psi)

Répétabilité

Max: 0,3 %

Min: 0,03 %

Description

Module de débit massique insensible à la pression Ce module de débit massique insensible à la pression, à la pointe de la technologie, est équipé d'une détection de pression différentielle et d'une vanne à actionneur piézoélectrique. Le haut niveau de performance fourni par le CRITERION D500 permet de l'utiliser pour une gamme de processus avancés de fabrication de semi-conducteurs ; insensible à la pression, multi-gammes/multi-gaz/multi-pressions, fonction d'auto-diagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), haute précision, réponse rapide, large gamme et tout métal Performance d'insensibilité à la pression Une nouvelle fonction d'insensibilité à la pression très performante permet de simplifier le système d'alimentation en gaz Solution multi-gammes, multi-gaz, multi-pressions Les nouvelles fonctions permettent à l'utilisateur de changer de type de gaz, de débit à pleine échelle et de plage de pression d'alimentation Fonction d'autodiagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) La fonction avancée de surveillance de l'état du processus permet aux opérateurs de réaliser leurs propres tests, généralement en trois secondes ou moins, pour une meilleure productivité Haute précision La précision du débit des gaz de process a été améliorée grâce à un réglage tridimensionnel avancé Réponse rapide Réponse : < 0,8 seconde Il est possible d'obtenir un contrôle précis et stable du débit Plage dynamique Large gamme de contrôle : 0.2% de l'E.M. à 100% de l'E.M. "Récemment, avec l'augmentation de l'application d'un dispositif à semi-conducteurs selon l'IoT, les dernières usines de semi-conducteurs se concentrent pour minimiser le temps d'arrêt de l'appareil. Par conséquent, pour la pré-détection des défaillances des outils de semi-conducteurs et de leurs composants, les paramètres gérés du processus de semi-conducteurs sont augmentés, et leurs spécifications deviennent plus strictes.

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ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 juin 2024 Frankfurt am Main (Allemagne)

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    * Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.