Débitmètres massiques HORIBA

Débit volumique: 0 l/min - 0,1 l/min
Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 1,1 bar - 3,5 bar

... Les processus critiques de fabrication des semi-conducteurs exigent en permanence des dispositifs de contrôle de flux de gaz de précision qui permettent à la fois l'innovation future et la transition du laboratoire à l'usine pour les mémoires et les dispositifs ...

Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 0,13 bar - 4 bar
Répétabilité: 0,01 % - 0,3 %

... Le D700WR installe un nouveau restricteur conçu spécifiquement pour une application de contrôle à large gamme avec des performances de haute précision basées sur la technologie CRITERION™. Le D700WR peut contrôler le débit jusqu'à 0,1 % de la plage de ...

Température de process: 0 °C - 80 °C
Pression de process: 3,5 bar - 7,5 bar
Répétabilité: 0,03 % - 0,3 %

... Ce module de débit massique insensible à la pression est équipé d'une détection de pression différentielle et d'une vanne piézoélectrique. Le haut niveau de performance du CRITERION D500 lui permet d'être utilisé pour toute une gamme ...

Température de process: 15 °C - 45 °C
Pression de process: 2,4 bar - 4,12 bar

... Le D700uF (Micro Flow) est conçu pour les applications à débit ≤ 5SCCM. le contrôle du débit ≤ 5SCCM a été très critique dans les procédés à haut rapport d'aspect Des composants spécialisés et une nouvelle norme interne de faible débit permettent un ...

Température de process: 15 °C - 60 °C
Pression de process: 2,4 bar - 3,5 bar

... Le D700T est le module de débit massique insensible à la pression le plus performant, conçu pour les processus critiques de fabrication de semi-conducteurs. Le D700T a adapté la technologie HORIBA CRITERION de mesure et de contrôle du ...

Débit volumique: 0,1, 0,3 l/min
Pression de process: 0,5 bar - 4 bar
Répétabilité: 0,15, 0,01 %

... comportent un régulateur de ligne, un capteur de pression et un filtre pour éviter le phénomène de diaphonie du régulateur de débit massique causé par les fluctuations de pression. La série SEC-Z700S fait preuve d'une grande stabilité ...

... , dernier modèle de sa série de régulateurs de débit massique ultra-minces. Ce produit augmente le débit à pleine échelle*1 d'environ sept fois par rapport aux modèles précédents et atteint un débit massique maximal de ...

Débit volumique: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Température de process: 5 °C - 50 °C
Pression de process: 0,5 bar - 3 bar

... secondaire (vaporisation) et permet des mesures de débit précises. Structure/principe de fonctionnement Les séries de débitmètres massiques LV-F et LF-F utilisent le même principe de mesure. Le LV-F dispose en outre ...