Creuset pour l'industrie des semi-conducteurs

céramiquepour applications haute températureen aluminium

Présentation produit
Les creusets conducteurs en nitrure de bore d'INNOVACERA sont conçus pour les procédés d'évaporation par faisceau d'électrons et d'évaporation thermique utilisés en fabrication de semi-conducteurs et de couches minces. Leur surface conductrice et peu mouillante, associée à une composition de haute pureté, protège les substrats de la contamination tout en permettant une évaporation contrôlée des métaux et des céramiques. Utilisables pour la fusion d'alliages, le frittage des terres rares et des céramiques, ainsi que pour divers procédés de dépôt de couches.

Principales propriétés et utilisations
Ces creusets présentent une excellente résistance aux hautes températures et aux chocs thermiques. Ils sont chimiquement stables vis-à-vis de nombreux métaux et céramiques aux terres rares et restent intacts lors de chauffages et refroidissements rapides. Usages typiques : évaporation par faisceau d'électrons, évaporation thermique par induction ou chauffage résistif, dépôt d'aluminium et de silicium, et autres procédés de dépôt de films minces.

Avantages

• Pureté élevée et finition de surface réduisant la contamination et améliorant la qualité des films.
• Augmentation du taux d'évaporation permettant des dépôts plus rapides et des temps de cycle réduits.
• Stabilité thermique améliorée réduisant les besoins énergétiques et assurant une meilleure reproductibilité des procédés.
• Durée de service prolongée réduisant les arrêts et la fréquence de remplacement.

Atouts / Caractéristiques

• Excellente résistance aux hautes températures et aux cycles thermiques répétés.
• Faible coefficient de dilatation thermique et faible mouillabilité par la plupart des métaux fondus.
• Résistance thermique jusqu'à 2000℃ ; le nitrure de bore ne réagit pas avec l'aluminium et n'est pas volatil.
• Taux d'évaporation accru : temps de cycle plus courts et rendement global amélioré.
• Changement rapide de matériau : minimise le temps d'inactivité de la chambre et accélère les changements de production.
• Stabilité thermique renforcée garantissant une évaporation cohérente et contrôlable.

Caractéristiques techniques

• Ingrédients principaux : BN + TiB2
• Densité : 3.0 g/cm3
• Composition de liaison : B2O3
• Couleur : Gris
• Résistivité à température ambiante : 300-2000 Ω·cm
• Température d'utilisation : inférieure à 1800℃
• Conductivité thermique : > 40 W/m·K
• Coefficient de dilatation thermique : (4-6) x 10⁻⁶ K⁻¹
• Résistance à la flexion : > 130 MPa
• Taux d'évaporation : 0.35-0.5 g/min·cm²