Plaque en céramique

de nitrure de bored'isolation

Le nitrure de bore pyrolytique (PBN) est une sorte de céramique avancée. Le disque de nitrure de bore pyrolytique PBN et d'autres produits de nitrure de bore pyrolytique sont synthétisés sur le moule par un processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), avec du BCl3 et du NH3 à haute température et à basse pression. Les produits PBN sont extrêmement purs, car la pureté du matériau gazeux est plus facile à contrôler. En général, les produits PBN présentent une impureté totale inférieure à 100 ppm, ce qui signifie que leur pureté est d'au moins 99,99 %. C'est le matériau idéal pour les fenêtres. Les principaux fabricants d'appareils à micro-ondes sous vide utilisent les céramiques d'alumine et de béryllium comme matériaux principaux pour les barrières de fenêtres d'entrée-sortie. Actuellement, le nitrure d'aluminium est considéré comme une alternative possible à ces matériaux traditionnels. Cependant, un matériau bien connu, le nitrure de bore pyrolytique (PBN), semble être sous-estimé par la plupart des développeurs de DE. Plaque de nitrure de bore pyrolytique comme matériau de fenêtre pour les dispositifs électroniques à micro-ondes de haute puissance.