Le Nano Focus Probe permet de saisir la surface de la pièce sous forme denuage de points 3D et d'évaluer la dimension, forme, position et rugosité sur des microstructures. La suppression de la lumière parasite permet de réaliser une topographie 3D fiablemesure même sur des surfaces réfléchissantes avec des écarts de palpage de l'ordre du sous-micron. Le système optique confocal capteur fournit également de bons résultats sur des flancs raides avec de grands angles d'inclinaison.
• Différents objectifs permettent d'adapter le capteur à la tâche à accomplir
• Le site capteur peut être utilisé dans l'ensemble du site volume de mesure de la machine à mesurer tridimensionnelle et les résultats de mesure peuvent être combinés dans le même site système de coordonnées
• Il est possible de calculer une surface totale à partir de plusieurs nuages de points partiels juxtaposés, pratiquement sans perte de précision
Plage de mesure
"Dans l'image" -mesure avec axe de mesure Z intégré 250 µm
Précision
Écart de palpage admissible jusqu'à 0,15 µm
Fonctionnement
En déplaçant la tête de mesure avec a) l'éclairage, b) la caméra, c) le diaphragme à trous et d) l'optique de reproduction par rapport à la pièce à usiner e), on fait varier l'intensité des points lumineux f), g) par défocalisation. Le chevauchement des points lumineux défocalisés f) est évité par de grandes distances g).