Système de métrologie pour semiconducteurs EDGE APEX

Présentation
La Edge Series comprend trois systèmes de mesure dimensionnelle par vision, conçus pour la métrologie en production et la vérification dimensionnelle de petites pièces de précision. Cette gamme permet des contrôles répétables en environnement de production, là où le débit et la constance sont essentiels, et fournit un retour rapide aux opérations de production et de contrôle qualité.

Avantages clés

• Empreinte compacte, prête pour l'utilisation sur atelier
• Mesures répétables entre opérateurs, postes et lots
• Trois niveaux d'automatisation : manuel (CORE), automatisation rapide 2 axes (VISTA) et CNC 3 axes complet (APEX)
• Reconnaissance de forme pour la localisation automatique des caractéristiques et assemblage d'images pour champs étendus
• Éclairage programmable et rapports structurés avec export de données pour SPC et systèmes qualité

Trois systèmes (options d'inspection)
APEX

• Mesure CNC 3 axes complète pour inspection de production contrôlée
• Objectifs zoom motorisés 6,5:1 (7 positions) avec mise au point motorisée
• Ouverture d'iris sous-table réglable pour pièces plates et tournées
• Éclairage LED programmable, reconnaissance de forme et assemblage d'images
• Fonctionnalité GD&T, rapports structurés et logiciel de mesure M3

VISTA

• Mesure automatisée rapide (contrôle CNC 3 axes, mesure 2 axes) pour contrôles répétitifs
• Optique télécentrique à faible distorsion et mise au point motorisée
• Grand champ de vision pour accélérer les inspections, éclairage sous-table collimaté
• Éclairage LED programmable, reconnaissance de forme et assemblage d'images
• Fonctionnalité GD&T, rapports structurés et logiciel de mesure M3

CORE

• Mesure manuelle flexible pour vérification en production (contrôle manuel de la table)
• Zoom optique indexé manuel 6,5:1 et mise au point manuelle
• Éclairage sous-table à iris pour pièces plates et tournées
• Éclairage LED programmable, reconnaissance de forme et assemblage d'images
• Fonctionnalité GD&T, rapports structurés et logiciel de mesure M3

Logiciel de mesure
Le logiciel M3 (M-Series) fournit des routines d'inspection programmées, la détection automatisée des caractéristiques et des rapports structurés pour assurer une vérification dimensionnelle répétable en production.

• Créer et exécuter des routines d'inspection programmées et des inspections par lots
• Stocker et rappeler des programmes de mesure pour les tâches répétitives
• Reconnaissance de forme pour la localisation automatique des caractéristiques
• Import DXF et comparaison numérique ; export de données pour SPC et systèmes qualité
• Stockage des résultats d'inspection pour traçabilité et intégration Industrie 4.0

Applications

• Ingénierie de précision : mesure de filets, engrenages, arbres, épaulements, gorges et petits boîtiers
• Électronique : composants miniaturisés, broches de connecteurs, plots de soudure, espacements et fonctions de PCB
• Plasturgie de précision & impression 3D : connecteurs moulés, boîtiers, parois fines et vérification cavité-à-cavité ; assemblage d'images pour pièces plus grandes
• Dispositifs médicaux : inspection de micro-caractéristiques pour cathéters, stents, éléments chirurgicaux et petites pièces moulées

Caractéristiques / Spécifications techniques

• Dénomination : Edge Series (trois systèmes : APEX, VISTA, CORE)
• Capacité de mesure (X / Y / Z) : 200 x 100 x 95/100 mm (APEX / VISTA / CORE)
• Objectif (APEX) : zoom optique motorisé 6,5:1 (7 positions)
• Objectif (VISTA) : objectif télécentrique à faible distorsion
• Objectif (CORE) : zoom optique manuel indexé 6,5:1 (6 positions)
• Champ de vision – Max : APEX 12,4 x 7,8 mm ; VISTA 35 mm diagonale (28 mm / 21 mm) ; CORE 15,5 x 10,0 mm
• Champ de vision – Min : APEX 2,8 x 1,8 mm ; VISTA objectif fixe ; CORE 2,5 x 1,5 mm
• Plage de grossissement* : APEX 27x–117x ; VISTA 10,3x ; CORE 20x–117x (sur écran 22", ajusté à l'écran)
• Contrôle d'objectif : APEX zoom et focus motorisés ; VISTA focus motorisé ; CORE zoom et focus manuels
• Caméra : APEX 2,3 MP (11.251 x 7.032 mm) CMOS ; VISTA 5,0 MP (5.702 x 4.277 mm) CMOS ; CORE 2,3 MP CMOS
• Commande : APEX CNC 3 axes ; VISTA CNC 3 axes ; CORE Manuel
• Charge maximale : 10 Kg (tous systèmes)
• Empreinte standard (X / Y / Z) + PC et écran : APEX 800 x 520 x 570 mm ; VISTA 800 x 520 x 550 mm ; CORE 550 x 650 x 580 mm
• Volume de travail X,Y,Z = PC et écran : APEX 1000 x 520 x 670 mm ; VISTA 1000 x 520 x 620 mm ; CORE 720 x 690 x 670 mm
• Résolution des encodeurs : X,Y 1 μm ; axe Z 0,5 μm
• Incertitude de mesure (axes X–Y)* : APEX 5 + (6.5L/1000) μm ** ; VISTA 5 + (9.54 L/1000) μm (ou 4 μm en mode FOV) ; CORE 5 + (6.5L/1000) μm **
• Incertitude de mesure (axe Z)* : APEX 15 + (7L/1000) μm ** ; VISTA N/A ; CORE 15 + (7L/1000) μm **
• Éclairage de surface : anneau LED blanc lumineux à 4 secteurs avec diffuseur optionnel (APEX & VISTA) ; CORE anneau LED blanc avec diffuseur
• Éclairage sous-table (transmis) : APEX & CORE rétroéclairage LED vert avec réglage d'iris ; VISTA éclairage LED vert collimaté
• Contrôle de la lumière : entièrement programmable sur la gamme
• Logiciel de mesure : M3 / M-Series et PC ; supporte inspection programmée, reconnaissance de forme, rapports structurés, import DXF et export de données
• Options / modules logiciels : modules M-Series disponibles pour étendre les capacités et créer des routines personnalisées
• Remarques : l'incertitude de mesure est déterminée conformément à la norme ISO-10360 Partie 7. Dans les formules d'incertitude L = longueur en mm ; valeurs supposent des conditions contrôlées au grossissement maximal et sur le plan de mesure standard.