Microscope électronique à balayage Verios 5 XHR

pour la recherche en matériauxde métrologiepour semi-conducteur

Caractérisation par microscopie électronique à balayage de nanomatériaux avec une résolution inférieure au nanomètre et un contraste élevé entre les matériaux. Microscope électronique à balayage Verios 5 XHR Le MEB Verios 5 XHR offre une résolution subnanométrique sur toute la gamme d'énergie de 1 keV à 30 keV avec un excellent contraste des matériaux. Des niveaux sans précédent d'automatisation et de facilité d'utilisation rendent cette performance accessible aux utilisateurs de tout niveau d'expérience. Caractérisation par microscopie électronique à balayage - Imagerie haute résolution des nanomatériaux avec la source d'électrons monochromatique UC+ pour une performance sub-nanométrique de 1-30 kV. - Contraste élevé sur les matériaux sensibles avec d'excellentes performances jusqu'à une énergie d'atterrissage de 20 eV et des détecteurs à haute sensibilité dans la colonne et sous la lentille, ainsi qu'un filtrage du signal pour un fonctionnement à faible dose et une sélection optimale du contraste. - Réduction considérable du temps nécessaire pour obtenir des informations à l'échelle nanométrique, quel que soit le niveau d'expérience des utilisateurs, grâce à la colonne électronique Elstar dotée des technologies SmartAlign et FLASH. - Des résultats de mesure cohérents avec les objectifs ConstantPower, le balayage électrostatique et un choix de deux étages piézoélectriques. - Flexibilité pour les accessoires avec une grande chambre. - Fonctionnement du MEB sans surveillance avec le logiciel Thermo Scientific AutoScript 4, une interface de programmation d'applications basée sur Python en option Technologie SmartAlign La technologie SmartAlign élimine tout besoin d'alignement de la colonne d'électrons par l'utilisateur, ce qui non seulement minimise la maintenance, mais augmente également votre productivité.