Système de positionnement XYZ 782498:001.26

linéaireautomatiquepour l'industrie des semi-conducteurs

Portique d'inspection XYZ pour semi-conducteurs | Moteur linéaire XY, rail profilé | Vis à billes Z, servo AC - Inspection et microscopie Inspection automatique 3D de haute précision de semi-conducteurs Ce système de positionnement à 3 axes déplace une caméra ou un capteur haute résolution sur l'axe Z au-dessus de la cible. Basé sur l'axe linéaire LA250 avec entraînement direct linéaire, ce système atteint des vitesses et des accélérations élevées avec une grande précision et une très bonne reproductibilité. Pour le positionnement vertical, la platine linéaire PLT165-AC de haute précision, équipée d'un puissant servomoteur CA, est utilisée pour entraîner sa vis à billes de précision. Elle a une capacité de charge élevée, même pour les capteurs lourds. Un débit élevé pour un fonctionnement 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 avec peu de maintenance - Idéal pour l'inspection automatisée d'échantillons plats de grande taille, par exemple des tranches de silicium, des cartes de sonde, au moyen d'un pont mobile - Très longue course de 700 x 700 x 200 mm pour des charges jusqu'à 15 kg - Mesure de haute précision avec une répétabilité jusqu'à 0,3 µm - Stabilité maximale pour les mesures à fort grossissement Extensible en option : - Diverses courses jusqu'à 2000 mm - Contrôle en Z manuel ou motorisé - Avec/sans cadre et plaque de base en granit ou en aluminium - Versions ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option, avec contrôleur préconfiguré et logiciel exemplaire pour une utilisation immédiate