Système de positionnement XYZ 782300:222.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologiepour l'industrie des semi-conducteurs

Inspection automatisée XYZ en ligne des plaquettes avec une grande capacité d'échantillons Ce système d'inspection est spécialement conçu pour le contrôle qualité automatisé de supports plats et de grande taille, jusqu'à 50 kg. Le système de positionnement permet le positionnement simultané du capteur en Z et de l'échantillon en XY sur une surface très compacte. Ce système robuste permet également l'utilisation de capteurs lourds ou de systèmes de caméra jusqu'à 20 kg en Z. L'entraînement de la broche, combiné à un frein de broche, garantit un auto-maintien optimal, de sorte qu'une position verticale peut être maintenue à l'état non activé. Le système fermé à faible émission convient également aux environnements industriels difficiles, sous la poussière et la fumée. Un système de suspension a été fixé au granit pour le passage des câbles. Conception compacte avec un rapport prix/performance optimisé - Idéal pour l'inspection de surface de grands supports jusqu'à 650 x 650 mm - Mesure précise avec une répétabilité jusqu'à 2 µm - Bon rapport qualité-prix grâce à l'entraînement par moteur pas à pas - Axe Z solide et robuste pour les capteurs, microscopes et caméras jusqu'à 20 kg - Convient aux environnements industriels (poussière, fumée, etc.) Extensible en option : - Diverses courses jusqu'à 1000 mm - Avec/sans cadre et plaque de base en granit ou en aluminium - Versions ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande), par exemple avec boîtier et avec système d'évacuation - Solutions individuelles pour le passage des câbles - Découplage adapté des vibrations au moyen d'une couche de caoutchouc amortissant ou d'amortisseurs pneumatiques - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré et un logiciel exemplaire