Système de positionnement multiaxe 782497:008.26

hexapoderotatifpour l'inspection de Wafer et métrologie

MP200-3 Système de positionnement miniature Z-Phi Delta, trépied En complément de l'aligneur MP200-5, qui permet un ajustement selon cinq degrés de liberté, cet aligneur a été conçu avec trois degrés de liberté. Il se compose intérieurement de trois axes de précision à action verticale, qui sont reliés à la plaque de charge mobile au moyen d'articulations solides. Ainsi, la plaque de charge peut être inclinée sur deux axes et réglée en hauteur. Comme l'alignement des pièces est souvent suffisant, le réglage vertical peut être utilisé pour compenser des ensembles de lentilles de différentes hauteurs, en particulier dans l'assemblage d'optiques. En outre, un manipulateur à 5 axes avec une grande plage de déplacement en XY peut être réalisé à partir de ce manipulateur et d'une table lumineuse à transmission croisée ou d'une table croisée. Par exemple, les KDT310, KT310 ou KDT235 peuvent être utilisés comme systèmes XY. Caractéristiques techniques : - Composant standard : MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Course : 4 mm (Z) / 3 mm (Rx, Ry) - Répétabilité : ± 0,07 - ± 1 µm (Z) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (Rx, Ry) - Vitesse de positionnement : 0,5 mm/s (Z) / 0,4 mm/s s (Rx, Ry) - Charge max : 20 N - Moteur : Moteur pas à pas (SM), courroie à filets coulissants - Rétroaction : Moteur-encodeur - Lumière transmise : 45 mm