Système de positionnement 3 axes 782476:001.26
horizontalrotatifautomatique

système de positionnement 3 axes
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Caractéristiques

Nombre d'axes
3 axes
Type
automatique, rotatif, horizontal
Applications
pour l'inspection de Wafer et métrologie, pour l'industrie des semi-conducteurs, pour l'industrie pharmaceutique
Autres caractéristiques
compact, à vis à billes, de précision, avec moteur pas à pas, sous haut vide
Répétabilité

0,8 µm, 1 µm

Charge

5 kg
(11,02 lb)

Course

5 mm, 15 mm
(0,2 in, 0,59 in)

Vitesse

2 mm/s

Description

MP410-3 Aligneur sous vide poussé jusqu'à 10E-6 mbar Personnalisable : - Idéal pour les mesures de transfert dans le vide jusqu'à 10-6 mbar - Conçu pour les grands échantillons avec une ouverture de 235 mm - Haute répétabilité jusqu'à 1 µm avec une capacité de charge de 5 kg - Transmission idéale de la force grâce à l'utilisation de la vis à billes sans jeu 1214 - Rapport prix/performance optimisé avec des paramètres de fonctionnement précis Cet aligneur permet de réaliser des mouvements de seconde translation de 15 mm dans le plan et une rotation autour de la verticale jusqu'à ± 5 degrés. Le mouvement R (Phi) résulte de la combinaison XY. Spécifications : - Composant standard : LA85 (XYRz) - Course : ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - Répétabilité : ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Vitesse de positionnement : 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - Charge max : 250 N (XYRz) - Moteur : Moteur Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Rétroaction : Boucle ouverte Options personnalisées : - Adaptation au processus : ouverture, support, alimentation, capteur - Configuration pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Conception individuelle avec rack, isolation des vibrations, enceinte - Développement de solutions individuelles avec conception 3D pour la tâche de positionnement

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