Système de positionnement 5 axes 782497:006.26

hexapoderotatifpour l'industrie des semi-conducteurs

MP200-5 Système de positionnement miniature XYZ Phi Delta Personnalisable : - ultra haute résolution jusqu'à 0,007 µm - précision de positionnement maximale avec ± 1,5° en Rx et Ry - capacité de charge jusqu'à 20 N - Mouvements très fins jusqu'à 0,07 µm grâce à des entraînements à filets coulissants robustes et auto-rétentifs - résistance maximale aux interférences grâce à des joints de paliers solides - répétabilité absolument constante jusqu'à ± 0,5 µm à tous les degrés de liberté - très compact grâce à l'électronique de commande 5 axes intégrée - une simple alimentation électrique et une interface de données standard assurent la connexion au système supérieur La platine motorisée de centrage et de nivellement se déplace de manière extrêmement cohérente sur ses cinq degrés de liberté. Le système peut être déplacé dans les trois directions. Il peut également être incliné à deux angles dans la planéité. Spécifications : - Composant standard : MT63-SM - Course : 4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - Répétabilité : ± 0,07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (RxRy) - Vitesse de positionnement : 0,5 mm/s (XY) / 0,4 mm/s (RxRy) - Charge max : 20 N - Moteur : Moteur pas à pas (SM), courroie à filets coulissants - Rétroaction : Moteur-encodeur - Lumière transmise : 45 mm