Platine rotative MR-30028

en boucle ferméealuminiumà entraînement direct

La platine rotative SMARSHIFT MR-30028 est un rotateur de grande surface avec un diamètre de 300 mm et une grande ouverture de 110 mm. Elle se caractérise par une vitesse élevée, un couple important et une longue durée de vie pour une précision sans compromis. Son faible encombrement et son profil bas simplifient l'intégration dans les systèmes existants et laissent suffisamment d'espace pour votre application. Applications Le rotateur MR-30028 a été spécialement conçu pour la rotation des wafers. En tant que plate-forme pour des plaquettes jusqu'à 300 mm, il peut être utilisé pour des méthodes de métrologie (telles que la réflectométrie, la spectroscopie de réflexion, l'ellipsométrie spectroscopique (VASE) et autres) ou pour la fabrication (pour le collage des plaquettes, la lithographie EUV et autres). D'autres domaines d'application comprennent l'alignement optique d'objets plus lourds dans l'industrie photonique et l'astronomie. Caractéristiques techniques Force normale max. Force normale [N] - 1000 Dimensions [mm] - ⌀ 300 × 28 Poids [g] - 5000 Ouverture [mm] - 110 Matériau Matériau de base - Aluminium, anodisé noir Boucle ouverte Vitesse angulaire [°/s] - 540 - Boucle fermée Types de capteurs - S Résolution du capteur [µ - <1 Vitesse angulaire [°/s] - 540