Présentation du produitCette série de machines est conçue pour l'ablation d'épaisseur de matériaux durs et cassants. Elle utilise le principe d'usinage In-feed : la plaquette en rotation est meulée par une meule tournante avec une avance verticale. Le modèle GC-BG202H est optimisé pour une grande rigidité et convient au traitement efficace et haute précision des plaquettes en carbure de silicium ainsi que des plaquettes en silicium.
Paramètres du produitTailles de plaquette prises en charge : 8 pouces, 6 pouces
Plage d'épaisseur traitée : 0,1 mm – 1 mm
Principe de meulage : In-feed
Diamètre de la meule : 12 pouces (300 mm)
Mode de meulage : Automatique / Manuel
Nombre de bacs à matériau : 2 (compatible 8" et 6")
Faces traitées : Réduction d'épaisseur sur une ou deux faces (sélection programmable)
Poids : 9500 KG
Dimensions (L×l×H) : 3050 × 1495 × 2180 mm
Produits associés- GC-SCDW8300 Machine de découpe pour carbure de silicium
- GC-TD804 Machine de chanfreinage pour carbure de silicium
- GC-BG202H Machine de réduction d'épaisseur automatique
Caractéristiques / spécifications techniques- Matériaux applicables : matériaux durs et cassants, notamment plaquettes en carbure de silicium et en silicium
- Tailles de plaquette : 8 pouces, 6 pouces
- Plage d'épaisseur : 0,1 mm – 1 mm
- Meule : 12 pouces (300 mm)
- Mode de meulage : In-feed ; selectable automatique ou manuel
- Broches : 2 (Z1, Z2) avec palier à air
- Puissance moteur de broche : 11 KW ; vitesse de broche : 1000–3000 rpm (Z1/Z2 réglables indépendamment)
- Course de l'axe Z : 150 mm ; résolution / déplacement minimal : 0,1 μm
- Vitesse de l'axe Z : 0,0001–0,08 mm/s ; vitesse maximale 50 mm/s
- Tables de plaquette : 3 (A, B, C) avec palier à air et adsorption par vide
- Vitesse des tables : 0–500 rpm (réglable individuellement)
- Commutation des tables : plateau tournant pneumatique
- Méthodes de nettoyage des tables : pierre à huile, double-fluide, brosse
- Nombre de bacs : 2 (compatible 8" et 6")
- Poids : 9500 KG ; Dimensions : 3050 × 1495 × 2180 mm