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Chanfreineuse électrique GC-TD804
de tablede précisionpour wafers

Chanfreineuse électrique - GC-TD804 - Qingdao Gaoce Technology Co., Ltd. - de table / de précision / pour wafers
Chanfreineuse électrique - GC-TD804 - Qingdao Gaoce Technology Co., Ltd. - de table / de précision / pour wafers
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Caractéristiques

Actionnement
électrique
Type
de table
Applications
de précision, pour wafers
Autres caractéristiques
à deux têtes
Vitesse de rotation

Max: 100 000 rpm
(628 318,5307 rad.min-1)

Min: 0 rpm
(0 rad.min-1)

Description

Présentation du produit
Cette machine est conçue pour le chanfreinage des bords des plaquettes en carbure de silicium. Elle est compatible avec les plaquettes 4, 6 et 8 pouces et prend en charge l'usinage de la face OF. Une fonction d'usinage de rainure NOTCH est disponible en option. Le système est équipé de deux postes de travail pour assurer un débit continu et un fonctionnement stable.

Paramètres du produit (table)
Dimensions et poids de la machine : 2 250 (L) * 1 650 (W) * 2 600 (H) mm ; 3 000 kg
Taille des plaquettes : 4 / 6 / 8 pouces
Épaisseur des plaquettes : 300 μm–1 500 μm
Poste de travail : double poste
Forme de la surface de référence : OF / Notch (Notch en option)
Dimensions de l'équipement : 2 250 (W) * 1 650 (D) * 2 600 (H) mm
Précision axes X/Y/Z : ±1 μm
Planéité des ventouses céramiques : ≤3 μm
Précision axiale et radiale de la broche du plateau de meulage : ±1 μm
Précision axiale et radiale de la broche de la meule : ±1 μm
Diamètre extérieur de la meule : Φ202 mm
Alésage de montage de la meule : Φ30 mm
Épaisseur de la meule : 20 mm
Vitesse de la meule : 0–4 000 tr/min (selon demande)
Vitesse meule Notch : 0–100 000 tr/min (selon demande)
Types de meules : T, R, TT, RR, TR, etc.
Mesure d'épaisseur des plaquettes (sans contact ou contact) : répétabilité ±2 μm ; point de mesure : centre
Méthode de nettoyage : nettoyage rotatif
Méthode de séchage : séchage centrifuge
Section chargement/déchargement : boîtes : 4 ; emplacements : 25 (réglables)

Caractéristiques / Spécifications techniques
  • Application : chanfreinage pour plaquettes en carbure de silicium, compatible 4/6/8 pouces
  • Fonctions optionnelles : usinage face OF, rainure NOTCH en option
  • Configuration à double poste pour prise en charge du chargement/déchargement continu
  • Précision : axes X/Y/Z ±1 μm ; planéité des ventouses céramiques ≤3 μm
  • Meule : Ø202 mm extérieur, Ø30 mm alésage, épaisseur 20 mm
  • Plages de vitesse configurables : meule 0–4 000 tr/min ; meule Notch jusqu'à 100 000 tr/min
  • Mesure d'épaisseur : point central, répétabilité ±2 μm
  • Processus : nettoyage rotatif et séchage centrifuge après meulage
  • Chargement/déchargement : 4 boîtes, 25 emplacements réglables

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Silicon Carbide Cutting Equipment

* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.