Capteur confocal à codage chromatique confocalDT IFS2407

pour mesure d'épaisseurpour mesure de distancesans contact

Présentation
Les capteurs confocalDT IFS2407 sont conçus pour la mesure de haute précision de la distance, de la rugosité et de l'épaisseur. Ces capteurs confocaux chromatiques offrent une ouverture numérique élevée et un petit diamètre de la tache lumineuse tout en tolérant de grands angles de mesure, ce qui permet l'utilisation pour la mesure de la rugosité. Ils offrent une précision d'ordre nanométrique.

Fonctionnalités principales

• Mesure précise de la distance, de la rugosité et de l'épaisseur
• Ouverture numérique élevée et petit spot lumineux
• Tolérance aux grands angles de mesure (mesure sur surfaces courbes et réfléchissantes)
• Haute sensibilité, bonnes performances sur surfaces sombres ou faiblement réfléchissantes
• Variantes pour utilisation en haute température et vide

Variantes et caractéristiques par modèle
Capteurs haute température : confocalDT IFS2407-xHT

• Mesure fiable à des températures ambiantes jusqu'à 200 °C
• Plages de mesure (mm) : 0,8 | 2 | 4
• Plage de température : max. 200 °C
• Linéarité : max. < ±0,18 µm
• Résolution : max. < 6 nm
• Boîtier en acier inoxydable 1.4404
• Compatible avec le vide jusqu'à UHV
• Disponibles variantes 90°

confocalDT IFS2407-0,1

• Plage de mesure (mm) : 0,1
• Linéarité : max. 0,05 µm
• Résolution : max. 3 nm
• Idéal pour les mesures de distance et de rugosité
• Modèle lumineux pour processus rapides (O.N. 0,7)
• Spot de mesure miniature de 3 µm
• Haute sensibilité et grand angle de mesure
• Mesure d’épaisseur des objets transparents à partir de 5 µm

confocalDT IFS2407-0,8

• Plage de mesure (mm) : 0,8
• Linéarité : max. 0,2 µm
• Résolution : max. 24 nm
• Petit point lumineux
• Conception compacte
• Mesure précise de la distance sur surfaces courbes
• Idéal pour mesurer l'épaisseur de couches minces

confocalDT IFS2407-1,5

• Plage de mesure (mm) : 1,5
• Très petit spot de mesure à partir de 5,5 µm
• Angle de mesure > ± 43°
• Modèle lumineux (NA > 0,7)
• Mesure hautement précise sur surfaces incurvées et miroitantes
• Mesure stable sur surfaces structurées

confocalDT IFS2407-3

• Plage de mesure (mm) : 3
• Linéarité : max. 0,5 µm
• Résolution : max. 13 nm
• Grand écartement de base env. 28 mm
• Angle de mesure max. ± 30°
• Idéal pour surfaces courbées et miroitantes

confocalDT IFS2407-6

• Plage de mesure (mm) : 6
• Linéarité : max. 1 µm
• Résolution : max. 15 nm
• Grand écartement de base env. 32 mm
• Idéal pour mesures rapides et très précises sur surfaces exigeantes
• Intensité lumineuse élevée même sur surfaces sombres/faiblement réfléchissantes

confocalDT IFS2407/90-0,3

• Plage de mesure (mm) : 0,3
• Linéarité : max. 0,15 µm
• Résolution : max. 6 nm
• Petit spot de mesure 6 µm
• Trajectoire du faisceau à 90°, idéal pour montage dans des espaces restreints
• Idéal pour mesures de déplacement et de rugosité

Caractéristiques / Spécifications techniques

• Applications : mesure de distance, rugosité et épaisseur (y compris couches minces et objets transparents)
• Plages de mesure disponibles : de 0,1 mm à 6 mm (selon variante)
• Résolutions typiques : de 3 nm à 24 nm (selon variante)
• Linéarité typique : de <0,05 µm à 1 µm (selon variante)
• Petits spots de mesure (ex. 3 µm pour -0,1 ; à partir de 5 µm pour d'autres variantes)
• Grand angle de mesure pour certaines variantes (> ±43°)
• Versions spéciales : capteurs haute température (jusqu'à 200 °C), compatibles vide (UHV)
• Boîtier (pour variantes HT) : acier inoxydable 1.4404
• Utilisation possible sur surfaces courbes, structurées, réfléchissantes ou peu réfléchissantes