Platine de translation NDS70piézoélectriqueen boucle ferméeminiature
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Caractéristiques
- Orientation
- de translation
- Type
- piézoélectrique
- Autres caractéristiques
- en boucle fermée, miniature
Description
voyage de 15 millimètres à l'empreinte de pas de 70 x 70 millimètres
pour la boucle fermée (résolution jusqu'à de 50 nanomètre)
pour le système de NOVA
Étapes miniatures de traduction avec la commande à inertie électrique piézo-électrique pour le système de NOVA. Édition courante
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