Positionneur piézoélectrique MS30

verticalmulti-axeminiature

diverses possibilités de montage pour le fonctionnement en boucle fermée (résolution jusqu'à 50nm) combinaisons multi-axes sans plaques d'adaptation Platine de translation miniature avec entraînement inertiel piézoélectrique et système de mesure. Données techniques Largeur - 30 mm Hauteur - 12,5 mm Profondeur - 30 mm Charge maximale Momentum (Mx) - 5 Ncm Momentum (My) - 5 Ncm Momentum (Mz) - 5 Ncm Force de blocage (Fx) - 4,5 N Force d'appui (Fy, Fz) - 30 N Précision du guidage Angle de lacet - 120 secondes d'arc Angle de tangage - 60 secondes d'arc Déviation verticale - 1 um Déviation latérale - 2 um Informations sur les mesures Marque de référence - milieu Résolution - 1um à 50 nm Tension d'alimentation - 5 V Consommation électrique - 150 mA