Résumé- 8 gaz préinstallés, 22 gaz disponibles via Bronkhorst FlowSuite
- Mesure du débit et de la température
- Design compact
- Jusqu'à 16 bar(g)
- Connexion Bluetooth et USB-C avec le logiciel gratuit Bronkhorst FlowSuite
- Réponse rapide grâce à la technologie TCS
Gaz préinstallés (tableau)Gaz | plage max.
N2, Air, H2 | 5 mln/min
O2 | 4,5 mln/min
Ar, CH4 | 4 mln/min
He | 7 mln/min
CO2 | 3,5 mln/min
Gaz disponibles via FlowSuiteAvec le logiciel gratuit Bronkhorst FlowSuite, vous pouvez ajouter l'un des 22 gaz disponibles ou créer des mélanges directement sur l’instrument. Instrument multi-fluides pour votre application :
C₂H₂, Air, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2
- Connexion facile à un téléphone via Bluetooth ou à un PC via câble
Caractéristiques du FF-101 FLEXI-FLOW 5 mln/min- Sortie multi-paramètres : débit massique réel et température (instrument)
- Utilisable pour pratiquement tous les types de gaz ou mélanges de gaz
- Connexion simple et sécurisée via Bluetooth ou USB-C
- Fonctionnalités avancées de diagnostic
- Haute précision grâce à la base de données de gaz embarquée et à la conversion en temps réel
- Facile à configurer
- MTBF 145 ans
- TCS unique (Through Chip Sensor)
- Réponse rapide <30 ms
- Design compact
- Indication d'état Namur NE107
Spécifications techniques (tableau)Mesure / Régulation
Plage de débit : 0.1...5 mln/min
Incertitude de mesure : ±1.5% Rd plus ±0.5% FS (aux conditions de calibration)
Répétabilité : < ± 0,2% Rd
Rangeabilité : 1:50
Pression nominale (PN) : 16 bar(g) (232 psi(g))
Température : 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Pression de service : 0,8 … 17 bar(a)
Gaz préinstallés : Air, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2 (données de gaz intégrées pour 22 gaz uniques, ainsi que pour tout mélange de ces gaz)
Gaz d'étalonnage de référence : N2
Temps de réponse (capteur) : <30 ms
Sensibilité à la température : Capteur de débit : zéro 0,015 % FS/ºC ; étendue 0,05 % Rd/ºC
Taux de fuite vers l'extérieur : Typique < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
Sensibilité à l'orientation : Montage dans n'importe quelle position, sensibilité à l'orientation négligeable
Parties mécaniques
Matériau en contact avec le fluide : aluminium, acier inoxydable, nitrure de silicium, époxy, oxyde d'aluminium, verre
Pression d'épreuve : 25 bar(g)
Raccordement au procédé : G1/8”BSSP ISO 1179 cavities
Matériau d'étanchéité : FKM 51415
Poids : 250 grammes
Indice de protection : IP40
Propriétés électriques
Alimentation Electrique : +24 VDc ± 10%
Consommation électrique max. : 0.5 Watt
Communication numérique : Modbus-RTU / FLOW-BUS
Raccordement électrique : Connecteur D-sub 9 broches mâle
Applications- Dépôt réactif par sputtering
- Suivi rapide des points de consigne pour le contrôle de l'épaisseur et de la transparence des couches
- Large plage dynamique pour une flexibilité dans l'application
- Équipements analytiques
- Analyse élémentaire en traces, chromatographie en phase gazeuse, spectroscopie ICP, spectroscopie OES, spectrométrie de masse
- Excellente répétabilité et stabilité à long terme
- Qualité analytique ; faible dégazage. Contrôle rapide du débit, même à très faibles débits.
- Pile à combustible
- Très précis et répétable à court et long terme pour la mesure et le contrôle du débit de H2, Air, O2 et CO2
- Mesure et contrôle du débit à réponse rapide pour une précision constante
- Large plage dynamique pour la mesure et le contrôle du débit afin d'assurer la précision sur une large gamme
- Compact pour les applications mobiles à espace restreint
Caractéristiques / Spécifications techniques- Modèle : FF-101 FLEXI-FLOW
- Débit max : 5 mln/min
- Gaz préinstallés : Air, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2
- 22 gaz disponibles via FlowSuite
- Connexion Bluetooth et USB-C
- Pression nominale : 16 bar(g)
- Indice de protection : IP40
- Poids : 250 g
- Alimentation : +24 VDc ± 10%
- Consommation : 0.5 W
- Communication : Modbus-RTU / FLOW-BUS
- Raccordement : D-sub 9 broches mâle