Débitmètre thermique FF-103 FLEXI-FLOW

massiquepour gazen verre

Résumé

• 8 gaz préinstallés, 22 gaz disponibles via Bronkhorst FlowSuite
• Mesure du débit et de la température
• Design compact
• Jusqu'à 16 bar(g)
• Connexion Bluetooth et USB-C avec le logiciel gratuit Bronkhorst FlowSuite
• Réponse rapide grâce à la technologie TCS

Gaz préinstallés (tableau)
Gaz | plage max.
N2, Air, H2 | 50 mln/min
O2 | 45 mln/min
Ar, CH4 | 40 mln/min
He | 70 mln/min
CO2 | 35 mln/min

Multi-fluides et connectivité
Avec le logiciel gratuit Bronkhorst FlowSuite, vous pouvez ajouter l'un des 22 gaz disponibles ou créer des mélanges directement sur l’instrument. De cette manière, vous disposez d’un instrument multi-fluides pour votre application : C₂H₂, Air, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Vous pouvez facilement connecter l’instrument à votre téléphone via Bluetooth et l’utiliser avec l’application. Alternativement, l’instrument peut être connecté à un PC à l’aide des câbles appropriés.

Caractéristiques principales

• Sortie multi-paramètres : débit massique réel et température (instrument)
• Utilisable pour pratiquement tous les types de gaz ou mélanges de gaz
• Connexion simple et sécurisée via Bluetooth ou USB-C
• Fonctionnalités avancées de diagnostic
• Haute précision grâce à la base de données de gaz embarquée et à la conversion en temps réel
• Facile à configurer
• MTBF 145 ans
• TCS unique (Through Chip Sensor)
• Réponse rapide <30 ms
• Design compact
• Indication d'état Namur NE107

Applications

• Dépôt réactif par sputtering
  • Suivi rapide des points de consigne pour le contrôle de l'épaisseur et de la transparence des couches
  • Large plage dynamique pour une flexibilité dans l'application
• Équipements analytiques
  • Analyse élémentaire en traces, chromatographie en phase gazeuse, spectroscopie ICP, spectroscopie OES, spectrométrie de masse
  • Excellente répétabilité et stabilité à long terme
  • Qualité analytique ; faible dégazage. Contrôle rapide du débit, même à très faibles débits.
• Pile à combustible
  • Très précis et répétable à court et long terme pour la mesure et le contrôle du débit de H2, Air, O2 et CO2
  • Mesure et contrôle du débit à réponse rapide pour une précision constante
  • Large plage dynamique pour la mesure et le contrôle du débit afin d'assurer la précision sur une large gamme
  • Compact pour les applications mobiles à espace restreint

Caractéristiques / Spécifications techniques

• Plage de débit : 1...50 mln/min
• Incertitude de mesure : ±1.5% Rd plus ±0.5% FS (conditions d'étalonnage)
• Répétabilité : < ± 0,2% Rd
• Rangeabilité : 1:50
• Pression nominale (PN) : 16 bar(g) (232 psi(g))
• Température : 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
• Pression de service : 0,8 … 17 bar(a)
• Gaz préinstallés : Air, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2 (données embarquées pour 22 gaz uniques + tout mélange)
• Gaz d'étalonnage de référence : N2
• Temps de réponse (capteur) : <30 ms
• Sensibilité à la température : capteur de débit : zéro 0.015% FS/ºC ; span 0.05% Rd/ºC
• Taux de fuite vers l'extérieur : typique < 2 x 10-9 mbar l/s He
• Sensibilité à l'orientation : montage dans n'importe quelle position, sensibilité négligeable
• Matériau en contact avec le fluide : aluminium, acier inoxydable, nitrure de silicium, époxy, oxyde d'aluminium, verre
• Pression d'épreuve : 25 bar(g)
• Raccordement au procédé : G1/8”BSSP ISO 1179
• Matériau d'étanchéité : FKM 51415
• Poids : 250 g
• Indice de protection : IP40
• Alimentation électrique : +24 VDc ± 10%
• Consommation électrique max. : 0.5 W
• Communication numérique : Modbus-RTU / FLOW-BUS
• Raccordement électrique : 9-pin D-sub mâle