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Machine d'inspection de défauts CR7300 seriesDR-SEMpour wafersindustrielle
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Caractéristiques
- Technologie
- DR-SEM
- Applications
- pour wafers
- Secteur
- industrielle
- Autres caractéristiques
- automatique, de défauts, à grande vitesse
Description
SEM d'examen en ligne qui contribue à l'amélioration du rendement grâce à un ADR à grande vitesse et à un ADC précis
- Résolution d'image SEM améliorée pour le développement de dispositifs de pointe et la production de masse
- Nouvelle solution in situ de contrôle du rendement qui quantifie et indique les propriétés électriques (R/C) dans le processus de fabrication des semi-conducteurs
- Productivité améliorée qui a permis de multiplier par deux le rendement par rapport au modèle précédent
- Contribuer au développement des dispositifs de la génération N3 grâce à une fonction avancée d'examen et d'analyse des défauts pour les plaquettes non tracées
- Amélioration remarquable des performances et de la précision de la classification des défauts grâce à l'adoption d'une classification automatique des défauts basée sur l'intelligence artificielle
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.