Système de surveillance de la densité LambdaPro® OMS

pour l'industrie électroniquelaseroptique

Le LambdaPro® OMS de Denton Vacuum vous permet de maximiser le rendement en contrôlant le dépôt pendant une série et en obtenant des performances reproductibles d'une série à l'autre. Le LamdaPro OMS surveille les propriétés d'une optique en temps réel pendant qu'elle est déposée, en utilisant la réflexion - ou la transmission - d'un substrat ou d'une puce témoin. Ce contrôle direct d'un substrat ou indirect d'une puce témoin vous permet de terminer le dépôt à l'épaisseur optique souhaitée. Le système de surveillance optique LambdaPro® est hautement configurable pour répondre à vos spécifications exactes et permettra d'augmenter les rendements de production des optiques multicouches. Cette solution offre une intégration complète dans le système contrôlé par ordinateur de Denton, fournissant à la fois un taux de balayage de signal élevé et des conversions analogiques-numériques, tout en travaillant en mode réflexion et en mode transmission. Revêtements anti-reflets et à haute réflectance Facettes laser Capteurs et filtres optiques Filtres passe-bande Filtres et revêtements infrarouges Filtres à densité neutre Métallisation Séparateurs de faisceaux L'OMS de LambdaPro® permet d'obtenir des résultats spectaculaires en matière d'épaisseur et d'uniformité optiques pour des empilements de films multiples, tout en fournissant un aperçu précis de l'indice obtenu en temps réel, ainsi que de la stœchiométrie des films. Comme notre OMS mesure l'épaisseur optique et non l'épaisseur physique, cette solution est excellente pour les empilements optiques complexes et multicouches.