Efficacité :
rentabilité, temps de service étendu, écoénergétique
Facilité d’entretien :
intervalles d’entretien espacés
Fiabilité :
fiabilité opérationnelle
Flexibilité :
solution axée sur les applications
Fonctionnement silencieux :
niveau sonore < 62 dB(A)
La pompe COBRA BC 0600 F est une pompe à vide à vis sèche reconnue de la gamme COBRA BC. Elle offre d’incroyables vitesses de pompage pour les applications solaires, d’écrans plats et de semi-conducteurs les plus exigeantes.
La gamme COBRA BC offre d’excellentes capacités de traitement des poudres et des particules résultant de sa conception à vis unique. Sa conception reconnue associe pompe auxiliaire et amplificateur de vide dans un châssis compact.
Les pompes à vide COBRA offrent des coûts de propriété réduits. Les moteurs haute efficacité et le mode ralenti augmentent l’efficacité énergétique. Il est possible de réaliser davantage d’économies grâce à un temps de service accru et à une empreinte réduite, simplifiant l’installation sur de nombreux équipements.
Applications
Sas de chargement (sous conditions)
Transfert
Métrologie
Lithographie
Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Traitement thermique rapide (RTA)
Laminage/incinération
Gravure d’oxyde
Gravure de silicone
Gravure de métal
Données techniques
Caractéristiques techniques
La pompe à vide à vis COBRA BC 0600 F fonctionne avec deux rotors à vis tournant en sens opposé permettant de capturer le fluide entre le cylindre et les chambres à vis et de le transporter jusqu’à l’échappement des gaz. Le mécanisme à vis limite les zones de glissement à l’intérieur de la pompe, assurant ainsi des capacités de traitement des poudres et de redémarrage optimales.