Pompe à vide à vis COBRA DS 0160 G

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COBRA DS 0080 / 0160 G Conception de vis avancée Efficace : rentable, maintenance minimale, temps de fonctionnement élevé Flexible : orienté application Temps de traitement courts : en raison des vitesses de pompage élevées Robuste : revêtement anticorrosion sur les composants internes Design compact Les COBRA DS 0080/0160 G sont des pompes à vide à vis sans fin de la série éprouvée COBRA DS. Leurs vitesses de pompage élevées, même dans des conditions où un débit d'hydrogène élevé est requis, font des pompes à vide à vis COBRA DS des pompes idéales pour tous les processus exigeants de la production de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. La technologie de pointe de la pompe à vide à vis COBRA DS permet d'évacuer les fluides chargés de poudre et de particules. Les pompes à vide à vis sans fin COBRA DS se caractérisent par une compression à sec, un profil de vis spécialement développé et une décharge gazeuse sans entrave. Il en résulte un degré élevé de tolérance à la vapeur et aux particules. Les vis sont fabriquées à partir d'une pièce coulée d'un seul tenant, ce qui évite les interstices et rend impossible la pénétration de fluides ou de particules de processus et empêche ainsi la corrosion. Equipées de moteurs à haut rendement, les COBRA DS 0080/0160 G offrent une excellente efficacité énergétique. Avec de faibles besoins en maintenance, des coûts d'exploitation réduits, un temps de disponibilité très élevé et une longue durée de vie, le coût total de possession est très faible, ce qui constitue la norme dans cette classe de performance. L'équipement ultérieur de ces pompes à vide à vis sur des systèmes existants peut être effectué rapidement et facilement grâce à une conception " fit-in-place ". Applications CVD au plasma haute densité (HDP-CVD) Traitement thermique rapide (RTP) CVD sous-atmosphérique (SACVD) CVD métal-organique (MOCVD) CVD assistée par plasma (PECVD) CVD basse pression (LPCVD) Dépôt de couche atomique (ALD)