Alimentation électrique de table

DCà sorties multiples

Présentation du produit
Fournit une alimentation CC pour l'électropolissage de plaquettes 300 mm en fabrication de semi-conducteurs. Source CC OEM à 6 canaux dans un boîtier unique comprenant six alimentations de 600 W. Contrôleur autonome — fonctionne de manière indépendante une fois préconfiguré.

Caractéristiques principales

• Source CC OEM 6 canaux
• Assemblage en paquet unique de six alimentations de 600 W
• Contrôleur autonome — fonctionne indépendamment une fois préréglé
• Prise en charge des rampes et des séquences
• Capacité d'opération dépendante entre canaux
• Interface DeviceNet
• Commutation de polarité à l'état solide

Spécifications techniques

• Nombre de canaux : 6
• Puissance par canal : 600 W
• Configuration : paquet unique de 6 alimentations
• Contrôle : contrôleur intégré avec séquences programmables et rampes
• Communication : DeviceNet
• Commutation de polarité : à l'état solide

Applications

• Électropolissage de plaquettes 300 mm
• Traitement de couches minces et finition de surface
• Lignes de production et R&D en microélectronique

Interfaces et commande

• Communication DeviceNet pour intégration à l'automatisation d'usine
• Rampes, séquences et dépendances entre canaux programmables pour processus complexes
• Commutation de polarité à l'état solide pour changements de polarité rapides et fiables