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... pendant l'exposition par contact. L' aligneur de masque modèle 200IR est capable d'une résolution et d'une précision d'alignement d'un micron. Il dispose d'un module d'alignement qui comprend des jeux d'inserts de masques ...
... L'EVG®610 est un système de R&D compact et polyvalent qui peut traiter de petites pièces de substrat et des wafers jusqu'à 200 mm. L'EVG610 prend en charge une variété de procédés lithographiques standard, tels que les modes d'exposition ...
EV Group
... technologie d'alignement de masque à la pointe de la technologie sur une surface au sol réduite jusqu'à une taille de plaquette de 150 mm. Reconnu pour sa polyvalence et sa fiabilité, l'EVG620 NT offre une technologie d'alignement des ...
EV Group
... automatique (pour wafers 2–12 pouces ou forme carrée)
... Vue d'ensemble
- Système d'exposition de wafers (mask aligner) sur établi, conçu pour la R&D et la production en petites séries.
- Prend en charge trois modes de contrôle d'écart : contact dur, contact doux et
... Produit
Système d'exposition de
wafer entièrement automatique (mask aligner) pour la production de puces LED. Compatible avec les Micro LED et les
wafers LED standard ; disponible en deux versions combinées pour ...
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