Vanne pour le vide ultra poussé 010 series
à operculemanuellepneumatique

vanne pour le vide ultra poussé
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Caractéristiques

Type
à opercule
Actionnement
manuelle, pneumatique
Fonction
d'isolement
Corps
miniature, en acier inoxydable
Application
pour applications industrielles, pour le vide ultra poussé, pour l'industrie des semi-conducteurs
Autres caractéristiques
compacte, simple effet, double effet
DN

16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0,63 in, 0,984 in, 1,575 in, 1,969 in)

Pression

Min: 5 bar
(72,5 psi)

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Température

50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)

Description

La mini soupape à vanne compacte d'UHV comportant un concept modulaire de déclencheur est bien adaptée pour des applications industrielles et de R&D. Elle est employée souvent dans les tuyauteries des systèmes de processus de semi-conducteur.

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