Vanne pour le vide poussé 151 series
à operculepneumatiqued'isolement

vanne pour le vide poussé
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Caractéristiques

Type
à opercule
Actionnement
pneumatique
Fonction
d'isolement
Corps
aluminium
Application
pour le vide poussé, pour l'industrie des semi-conducteurs
Autres caractéristiques
à double effet
DN

63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2,48 in, 3,937 in, 6,299 in, 7,874 in, 9,843 in)

Pression

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 4 bar
(58 psi)

Température

Max: 250 °C
(482 °F)

Min: 0 °C
(32 °F)

Débit

480 l/s, 1 700 l/s, 6 000 l/s, 12 000 l/s, 19 400 l/s
(126,8 us gal/s, 449,09 us gal/s, 1 585,03 us gal/s, 3 170,06 us gal/s, 5 124,94 us gal/s)

Description

Pour les applications où un faible nombre de particules et un faible impact de choc sont indispensables. Souvent utilisé en R&D, mais aussi dans les systèmes de traitement des semi-conducteurs.

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