Pompe à vide turbomoléculaire UTM-FH, FW series

lubrifiéemono-étagéeanticorrosion

D'abondantes variations de 350L/s à 6300L/s, les plus importantes au monde (type de palier à commande magnétique numérique). Maintien d'une performance de pompage stable en cas de changement de contre-pression (série FH). Système de chauffage interne en option pour contrôler la température du rotor et réduisent l'adhérence des sous-produits de réaction latérale (série FW). Excellent traitement de surface anticorrosion (sauf 3303FH) et 6300FH). Traitements de surface spéciaux en option (p. ex. nickel) placage + électrodéposition des cations, dépôt d'un film spécial, anodisation de l'aluminium) sont disponibles au besoin. Montable dans toutes les directions. Le système à vitesse variable permet de changer la vitesse vitesse de pompage dans la plage de 25% à 100%. Il n'y a pas de limitation pour combiner n'importe quelle alimentation électrique et pompe l'unité principale pour modifier la longueur du câble en raison de l'utilisation de l'accouplement système libre et système sans accord. L'autoproduction d'énergie par énergie régénérative est utilisée pour alimentation de secours en cas de panne de courant par l'utilisation d'une alimentation sans batterie système. Il n'est pas nécessaire de remplacer la batterie. Fonctions intégrées d'autodiagnostic et d'autodiagnostic et de communication permettent de configurer un système de surveillance centralisé. Conception de sécurité avec construction d'absorption d'énergie de rupture peut réduire les dommages sur le système d'aspiration en cas de panne s'est passé avec les pompes. Une grande durabilité et une grande fiabilité ont été réalisées par des expériences telles que des tests d'entrée d'air, des tests de toucher divers, des tests d'entrée d'air essais en aval, essais de destruction forcée pour les rotors et les pièces étrangères test de chute de matériau (chute de wafer Si).