Pompe à vide à palettes LR/HR/UR series

sèchemono-étagéed'hélium

POMPE À VIDE SEC SÉRIE LR/HR/UR L'approche unique d'ULVAC pour utiliser la chaleur générée à l'intérieur du corps de la pompe sèche permet à la série LR/HR/UR de fonctionner même dans les procédés les plus rigoureux. ULVAC a concentré ses efforts de conception sur le maintien d'une température extrêmement élevée et uniforme à toutes les étapes de la pompe, ce qui rend cette pompe de série optimale pour les applications CVD et gravure. L'ECO-SHOCK d'ULVAC peut être ajouté à la pompe LR pour des économies d'énergie supplémentaires allant jusqu'à 70% pour tous les procédés légers, y compris le pompage d'air ou d'azote : La pompe de la série LR est conçue pour les processus de verrouillage de charge ou PVD. La conception unique en aluminium de l'ULVAC permet une répartition très uniforme de la température dans tout le corps de pompe : La pompe HR aeries est conçue pour les procédés CVD et de gravure. La pompe de la série ULVAC UR est conçue pour les applications qui nécessitent une pompe chauffée, des conduites de gaz chauffées et/ou des conduites d'échappement chauffées Excellente capacité de pompage de l'hélium : Moteur à rotor noyé pour la sécurité et la facilité d'entretien Protection contre les coupures de courant : La pompe résiste aux coupures de courant d'une durée pouvant atteindre 1000 ms. Résistance supérieure à la corrosion : Les composants internes sont traités spécialement pour offrir un degré élevé de dureté de surface et de résistance à la corrosion. Ceci évite l'usure et la corrosion des pièces internes de la pompe lorsque exposés à des gaz corrosifs. Fonction de communication : Les données de la pompe, y compris les avertissements et les alarmes, peuvent être exportées. Un contrôle étendu de la pompe est disponible. Le marquage CE est disponible : le marquage CE est disponible sur demande.