Système de micro-positionnement sous haut vide MP53-3-PM-10-PM-L

3 axesXYZpiézo

MP53-3-PM - Systèmes multiaxes compacts sous vide Micropositionneur haute résolution - HV / UHV / EUV, course 10 mm, répétabilité 0,2 µm, charge 0,5 kg - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C Configurable en option : - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans aimant - En option, avec un système de mesure haute résolution pour une répétabilité jusqu'à 0,005 µm - Combinable avec des plateaux rotatifs pour les applications rotatives - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Manipulateur XYZ miniaturisé pour les applications exigeantes Le manipulateur MP53 est un système 3 axes miniaturisé pour les mouvements X, Y et Z dans un espace d'installation très limité. Des plages de déplacement de 10 mm sont réalisées. Le manipulateur est équipé de moteurs piézoélectriques et peut ainsi réaliser des incréments de positionnement de quelques nanomètres pour des applications de haute précision dans le vide poussé et l'ultravide. Domaines d'application Positionnement de précision sur un espace d'installation réduit pour les applications de laboratoire, la microscopie et la technologie des semi-conducteurs, la recherche sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, la préparation d'échantillons, le balayage d'échantillons, la manipulation d'échantillons, le réglage de caméras, le réglage de capteurs, la recherche sur les matériaux, l'analyse des matériaux, les lignes de faisceaux, les accélérateurs, les synchrotrons, la miniaturisation