Système de positionnement sous haut vide LA80-2LA95

multiaxe3 axesXY

Système UHV rapide à 3 axes LA80-LA90 UV / UHV / EUV, déplacement max. 500 mm de course, répétabilité de 2 µm, charge de 5 kg Cette platine de transfert rapide est adaptée aux applications précises, rapides et à longue durée de vie dans l'ultravide. Elle répond également aux exigences d'utilisation sous rayonnement ultraviolet extrême en raison de sa très faible émission et de son faible nombre de particules. Les axes sont disponibles dans les tailles LA80, LA95, LA170 et sont conçus pour des charges allant jusqu'à 20 kg en fonctionnement vertical. Cette combinaison d'axes a été développée dans le cadre du projet "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI). Précision, rapidité et durabilité dans l'ultravide - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Durée de vie en kilomètre sans lubrification liquide - Max. Température d'étuvage : 120°C - Disponible en version magnétique Optionen : - Déplacements spécifiquement adaptés à votre application jusqu'à 510 x 80 x 80 mm - Sans rétroaction comme système de moteur pas à pas pur jusqu'à une répétabilité de 5 µm - Excellente immobilisation dans la gamme nanométrique grâce à des freins à pince piézoélectrique supplémentaires en Z et Y - Vis à billes en Z et Y pour une vitesse plus élevée et une durée de vie plus longue avec lubrification - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 classe 4 (jusqu'à la classe 1 sur demande) Références OMNY-A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247